Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 49, Numéro C4, Septembre 1988
ESSDERC 88
18th European Solid State Device Research Conference
Page(s) C4-753 - C4-756
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:19884157
ESSDERC 88
18th European Solid State Device Research Conference

J. Phys. Colloques 49 (1988) C4-753-C4-756

DOI: 10.1051/jphyscol:19884157

HIGH VOLTAGE SWITCHING P-CHANNEL STRUCTURE FOR CMOS ARCHITECTURES

C. MORI, G. CRISENZA et P. PICCO

SGS-Thomson Microelectronics, Via C. Olivetti 2, I-20041 Agrate (MI), Italy


Résumé
On présente ici l'analyse d'une structure à canal p à haut voltage complètement compatible avec toutes les architectures CMOS. Elle met en évidence le rôle critique joué par la couche du "drain extension" sur la prestation électrique du dispositif et par l'épaisseur de l'oxyde de champ périphérique sur la fiabilité du dispositif. Ces résultat sont utiles pour dessiner des dispositifs à haut voltage avec un procès compatible dans une technologie CMOS avancée.


Abstract
An analysis of a P-ch High Voltage structure fully compatible with all CMOS architectures is presented. It points out the critical role played by drain extension layer on electrical device performance, and by the field thick oxide periphery on the device reliability. These results are useful in designing HV process compatible devices in advanced CMOS technology.