| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
|
|---|---|---|
| Page(s) | C2-873 - C2-876 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:19842200 | |
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-873-C2-876
DOI: 10.1051/jphyscol:19842200
SCANNING ELECTRON ACOUSTIC MICROSCOPY WITH SUBNANOSECOND TIME RESOLUTION
L.J. Balk et N. KultscherUniversität Duisburg, Fachgebiet Werkstoffe der Elektrotechnik, Kommandantenstrasse 60, D-4100 Duisburg, F.R.G.
Résumé
En microscopie électronique acoustique par balayage le signal acoustique de l'échantillon peut être analysé complètement par des mesures résolues en temps. L'utilisation d'un "boxcar" permet de réaliser des micrographies électroniques acoustiques avec un déphasage déterminé par rapport aux implusions du faisceau primaire électronique. En principe ces micrographies peuvent être appliquées aux analyses en profondeur de façon non destructive. On montre des exemples d'application aux semiconducteurs et aux dispositifs.
Abstract
In scanning electron acoustic microscopy the local acoustic response of the specimen can be analysed by time resolved experiments. Use of boxcar integration techniques enables the production of electron acoustic images with fixed time delays with respect to the primary electron beam pulse. In principle, these micrographs should allow a non-destructive depth profiling. Examples are shown for semiconducting materials and devices.