| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
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| Page(s) | C2-869 - C2-872 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:19842199 | |
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-869-C2-872
DOI: 10.1051/jphyscol:19842199
NONLINEAR SCANNING ELECTRON ACOUSTIC MICROSCOPY
L.J. Balk et N. KultscherUniversität Duisburg, Fachgebiet Werkstoffe der Elektrotechnik, Kommandantenstrasse 60, D-4100 Duisburg, F.R.G.
Résumé
La microscopie électronique acoustique par balayage non-linéaire est une technique spéciale de la microscopie acoustique, qui utilise les amplitudes et les phases des harmoniques, particulièrement le second harmonique de l'onde acoustique provenant d'un faisceau électronique modulé sur une certaine fréquence de base. Comme ces harmoniques sont déterminés par le couplage non-linéaire entre le son et le solide, ils détectent d'une manière très sensible les inhomogénéités du matériau avec une grande résolution spatiale.
Abstract
Nonlinear scanning electron acoustic microscopy is a special technique of acoustic microscopy which uses amplitudes and phases of higher harmonics, especially the second harmonic, of the sound wave originated by an electron beam modulated at a certain ground frequency. As these harmonics are determined by the nonlinear coupling between sound and the solid , they reveal very sensitively material inhomogeneities with high spatial resolution.