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J. Phys. Colloques
Volume 44, Number C10, Décembre 1983
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
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| Page(s) | C10-123 - C10-126 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:19831026 | |
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-123-C10-126
DOI: 10.1051/jphyscol:19831026
LETI, CEN. G, CEA, 85 X, 38041 Grenoble Cedex, France
J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-123-C10-126
DOI: 10.1051/jphyscol:19831026
BROADBAND SPECTROSCOPY OF ULTRATHIN LAYERS BY OPTICAL GUIDED WAVES TECHNIQUES, APPLICATION TO A 80 Å THICK a - Si : H LAYER
M. Olivier, J.C. Peuzin et A. Chenevas-PauleLETI, CEN. G, CEA, 85 X, 38041 Grenoble Cedex, France
Résumé
A l'aide d'une technique de perturbation, les méthodes de spectroscopie par ondes guidées sont étendues au cas de couches ultraminces non forcément guidantes.
Abstract
By means of a perturbation technique, guided wave spectroscopy methods are extented to the case of non-guiding ultrathin layers.