Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C10, Décembre 1983
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
Page(s) C10-123 - C10-126
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:19831026
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis

J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-123-C10-126

DOI: 10.1051/jphyscol:19831026

BROADBAND SPECTROSCOPY OF ULTRATHIN LAYERS BY OPTICAL GUIDED WAVES TECHNIQUES, APPLICATION TO A 80 Å THICK a - Si : H LAYER

M. Olivier, J.C. Peuzin et A. Chenevas-Paule

LETI, CEN. G, CEA, 85 X, 38041 Grenoble Cedex, France


Résumé
A l'aide d'une technique de perturbation, les méthodes de spectroscopie par ondes guidées sont étendues au cas de couches ultraminces non forcément guidantes.


Abstract
By means of a perturbation technique, guided wave spectroscopy methods are extented to the case of non-guiding ultrathin layers.