| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 49, Numéro C4, Septembre 1988
ESSDERC 8818th European Solid State Device Research Conference |
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|---|---|---|
| Page(s) | C4-801 - C4-804 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:19884168 | |
ESSDERC 88
18th European Solid State Device Research Conference
J. Phys. Colloques 49 (1988) C4-801-C4-804
DOI: 10.1051/jphyscol:19884168
Laboratoire d'Automatique et de Microélectronique, Université des Sciences et Techniques du Languedoc, F-34060 Montpellier Cedex, France
18th European Solid State Device Research Conference
J. Phys. Colloques 49 (1988) C4-801-C4-804
DOI: 10.1051/jphyscol:19884168
SOME ASPECTS OF THE SCANNING ACOUSTIC MICROSCOPE CONTRIBUTIONS IN THE EVALUATION OF DEVICE RELIABILITY
A. SAIED, C. AMAUDRIC DU CHAFFAUT, J.M. SAUREL et J. ATTALLaboratoire d'Automatique et de Microélectronique, Université des Sciences et Techniques du Languedoc, F-34060 Montpellier Cedex, France
Résumé
La microscopie acoustique, une technique non destructive d'investigation des circuits microélectroniques est présentée dans cet article. Des applications spécifiques ont été effectuées sur des structures typiquement rencontrées dans la plupart des circuits à semiconducteurs.
Abstract
The scanning acoustic microscope, a technique suited to non-destructive investigations of microelectronic devices is presented in this paper. Specific applications are carried out on structures typically encountered in most of semiconductor components.