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J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C9, Décembre 1984
31st International Field Emission Symposium / 31ème Symposium International d'Emission de Champ
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| Page(s) | C9-197 - C9-205 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984933 | |
31st International Field Emission Symposium / 31ème Symposium International d'Emission de Champ
J. Phys. Colloques 45 (1984) C9-197-C9-205
DOI: 10.1051/jphyscol:1984933
The Enrico Fermi Institute and Department of Physics, The University of Chicago, Chicago, Illinois 60637, U.S.A.
J. Phys. Colloques 45 (1984) C9-197-C9-205
DOI: 10.1051/jphyscol:1984933
HIGH SPATIAL RESOLUTION SIMS WITH THE UC-HRL SCANNING ION MICROPROBE
R. Levi-Setti, Y.L. Wang et G. CrowThe Enrico Fermi Institute and Department of Physics, The University of Chicago, Chicago, Illinois 60637, U.S.A.
Résumé
Une nouvelle sonde ionique (Ga+ à balayage nous permet d'obtenir des images qui montrent une résolution latérale près de 40 nm, en utilisant les ions secondaires analysés par un filtre quadrupolaire RF de masse.
Abstract
A new Ga+ scanning ion microprobe yields images at lateral resolution approaching 40 nm, making use of the secondary ions analyzed by an RF quadrupole mass filter.