Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C5, Octobre 1983
Interactions Laser-Solides, Recuits par Faisceaux d'Energie / Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials
Page(s) C5-421 - C5-425
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:1983561
Interactions Laser-Solides, Recuits par Faisceaux d'Energie / Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials

J. Phys. Colloques 44 (1983) C5-421-C5-425

DOI: 10.1051/jphyscol:1983561

PULSED ANNEALING OF SILICON/PLATINUM SYSTEMS

E. D'Anna1, G. Leggieri1, A. Luches1, V. Nassisi1, F. Nava2 et C. Nobili2

1  Università di Lecce, Dipartimento di Fisica, Lecce, Italy
2  Università di Modena, Istituto di Fisica, Modena, Italy


Résumé
Les réactions Si/Pt ont été étudiées en utilisant un faisceau d'électrons pulsé. Les profils de la température dans les échantillons et l'évolution temporelle de la température ont été calculés pour mettre en rapport les produits de réaction avec le diagramme de phase du système Silicium/Platine.


Abstract
Silicon/platinum reactions were studied using a pulsed electron beam. Temperature profiles in the samples and time evolution of temperature were calculated to correlate the reaction products to the phase diagram of the Si/Pt system.