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J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C5, Octobre 1983
Interactions Laser-Solides, Recuits par Faisceaux d'Energie / Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials
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Page(s) | C5-421 - C5-425 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1983561 |
Interactions Laser-Solides, Recuits par Faisceaux d'Energie / Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials
J. Phys. Colloques 44 (1983) C5-421-C5-425
DOI: 10.1051/jphyscol:1983561
1 Università di Lecce, Dipartimento di Fisica, Lecce, Italy
2 Università di Modena, Istituto di Fisica, Modena, Italy
J. Phys. Colloques 44 (1983) C5-421-C5-425
DOI: 10.1051/jphyscol:1983561
PULSED ANNEALING OF SILICON/PLATINUM SYSTEMS
E. D'Anna1, G. Leggieri1, A. Luches1, V. Nassisi1, F. Nava2 et C. Nobili21 Università di Lecce, Dipartimento di Fisica, Lecce, Italy
2 Università di Modena, Istituto di Fisica, Modena, Italy
Résumé
Les réactions Si/Pt ont été étudiées en utilisant un faisceau d'électrons pulsé. Les profils de la température dans les échantillons et l'évolution temporelle de la température ont été calculés pour mettre en rapport les produits de réaction avec le diagramme de phase du système Silicium/Platine.
Abstract
Silicon/platinum reactions were studied using a pulsed electron beam. Temperature profiles in the samples and time evolution of temperature were calculated to correlate the reaction products to the phase diagram of the Si/Pt system.