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J. Phys. Colloques
Volume 50, Numéro C5, Mai 1989
Actes de la 7ème Conférence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse / Proceedings of the Seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition
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| Page(s) | C5-665 - C5-665 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989577 | |
Actes de la 7ème Conférence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse / Proceedings of the Seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition
J. Phys. Colloques 50 (1989) C5-665-C5-665
DOI: 10.1051/jphyscol:1989577
Centre de Recherches sur la Chimie de la Combustion et des Hautes Temperatures, CNRS, F-45071 Orléans Cedex 2, France
J. Phys. Colloques 50 (1989) C5-665-C5-665
DOI: 10.1051/jphyscol:1989577
PACVD OF "DIAMOND-LIKE" CARBON FILMS IN MICROWAVE MULTIPOLAR PLASMAS
M. MORIN et L. VANDENBULCKECentre de Recherches sur la Chimie de la Combustion et des Hautes Temperatures, CNRS, F-45071 Orléans Cedex 2, France
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