Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 50, Numéro C5, Mai 1989
Actes de la 7ème Conférence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse / Proceedings of the Seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition
Page(s) C5-665 - C5-665
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989577
Actes de la 7ème Conférence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse / Proceedings of the Seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition

J. Phys. Colloques 50 (1989) C5-665-C5-665

DOI: 10.1051/jphyscol:1989577

PACVD OF "DIAMOND-LIKE" CARBON FILMS IN MICROWAVE MULTIPOLAR PLASMAS

M. MORIN et L. VANDENBULCKE

Centre de Recherches sur la Chimie de la Combustion et des Hautes Temperatures, CNRS, F-45071 Orléans Cedex 2, France

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