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J. Phys. Colloques
Volume 50, Numéro C5, Mai 1989
Actes de la 7ème Conférence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse / Proceedings of the Seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition
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| Page(s) | C5-241 - C5-248 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989530 | |
J. Phys. Colloques 50 (1989) C5-241-C5-248
DOI: 10.1051/jphyscol:1989530
AUTOCAR LAMPS COATED WITH A YELLOW MULTILAYER FILTER BY LPCVD
C.A.M. MULDER1, W.H.M.M. VAN DE SPIJKER1, J. JENSMA2, G. VERSPUI1 et G.H.C. HEIJNEN31 Philips Lighting B.V., NL-5600 JM Eindhoven, The Netherlands
2 Philips Centre for manufacturing Technology, NL-5600 MD Eindhoven, The Netherlands
3 Philips Glühlampwerk, D-5100 Aachen, F.R.G.
Résumé
A fin d'améliorer le flux lumineux de phares jaunes, un filtre bleu d'interférence réfléchissant multicouches a été appliqué directement sur les ampoules. Un tel filtre a été produit par le dépôt alterné de couches Si3N4 et SiO2 en système LPCVD standard opéré à seulement un profil de température. Par une bonne sélection de la pression, des caractéristiques de débit gazeux et de la géométrie de charge dans le tube en quartz du four pour chaque couche, on a pu optimiser les deux processus. La croissance du filtre a été contrôlée par un appareil optique de contrôle d'épaisseur in situ. Actuellement plusieurs centaines de lampes aux halogènes (H4) ont été revêtues d'un filtre bleu d'interférence, réfléchissant composé de 11 couches de Si3N4/SiO2. Cette opération a eu lieu dans un réacteur LPCVD, le temps de cycle étant de moins de 3 heures. L'efficacité optique des lampes jaunes multicouches à été améliorée de plus de 20% relativement aux lampes conventionnelles équipées d'une enveloppe extérieure en verre absorbant sélectivement la lumière bleu.
Abstract
To improve the light output of yellow autocar headlights a blue reflecting multilayer interference filter was deposited directly on the bulbs. Such a filter was produced by the alternate deposition of Si3N4 and SiO2 layers in a standard LPCVD system operated at one temperature profile only. By properly selecting the pressure, gas flow characteristics and load geometry in the quartz furnace tube for each layer material, both processes could be optimized. The growth of the filter was monitored by an in-situ optical thickness controller. Presently, several hundreds (H4) halogen lamps were coated simultaneously with an 11-layer Si3N4/SiO2 blue reflecting interference filter in a LPCVD reactor with a cycle time of less than 3 hours. The layer thickness uniformity of the deposited filter on each lamp was better than ± 2%. The optical efficiency of the yellow multilayer lamps was improved by more than 20% with respect to conventional ones equipped with an outer glass jacket that selectively absorbs blue light.