Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 47, Numéro C1, Février 1986
Thirteenth International Conference on Science of Ceramics
Page(s) C1-119 - C1-129
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:1986118
Thirteenth International Conference on Science of Ceramics

J. Phys. Colloques 47 (1986) C1-119-C1-129

DOI: 10.1051/jphyscol:1986118

COATINGS FOR MICROIONIC DEVICES

M. GOUET

Laboratoire de Thermodynamique et d'Electrochimie des Oxydes, Université Paris XII, Avenue de Gaulle, F-94010 Créteil Cedex, France


Résumé
Le concept de microionique désigne la transposition des procédés de fabrication de la microélectronique à des dispositifs électrochimiques. Après quelques exemples de dispositifs, sont exposées des méthodes de réalisation de couches minces et épaisses.


Abstract
The concept of microionics designates the transposition to the field of electrochemistry of the methods which made possible the spreading of the microelectronics. Some examples are shown, and methods of making thin and thick films are reviewed.