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J. Phys. Colloques
Volume 47, Numéro C1, Février 1986
Thirteenth International Conference on Science of Ceramics
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| Page(s) | C1-119 - C1-129 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1986118 | |
Thirteenth International Conference on Science of Ceramics
J. Phys. Colloques 47 (1986) C1-119-C1-129
DOI: 10.1051/jphyscol:1986118
Laboratoire de Thermodynamique et d'Electrochimie des Oxydes, Université Paris XII, Avenue de Gaulle, F-94010 Créteil Cedex, France
J. Phys. Colloques 47 (1986) C1-119-C1-129
DOI: 10.1051/jphyscol:1986118
COATINGS FOR MICROIONIC DEVICES
M. GOUETLaboratoire de Thermodynamique et d'Electrochimie des Oxydes, Université Paris XII, Avenue de Gaulle, F-94010 Créteil Cedex, France
Résumé
Le concept de microionique désigne la transposition des procédés de fabrication de la microélectronique à des dispositifs électrochimiques. Après quelques exemples de dispositifs, sont exposées des méthodes de réalisation de couches minces et épaisses.
Abstract
The concept of microionics designates the transposition to the field of electrochemistry of the methods which made possible the spreading of the microelectronics. Some examples are shown, and methods of making thin and thick films are reviewed.