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J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
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| Page(s) | C2-329 - C2-332 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984274 | |
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-329-C2-332
DOI: 10.1051/jphyscol:1984274
ANALYSE QUANTITATIVE DES SURFACES PAR SPECTROMÉTRIE D'ÉLECTRONS
J.P. Duraud1 et C. Quenisset21 DPC/SSS, CEN Saclay, 91191 Gif-sur-Yvette, France
2 Laboratoire de Microanalyse par Sondes Electroniques, 33405 Talence, France
Résumé
La plupart des analyses de surface par spectrométrie d'électrons sont plus qualitatives que quantitatives. Cependant il existe un besoin croissant pour la quantification de ces résultats. Un examen critique des connaissances dans ce domaine est fait. Des directions d'études sont proposées pour progresser. Elles concernent le fond continu, les méthodes de déconvolution et les effets cristallographiques.
Abstract
Most of surface analysis by electron spectroscopy are more qualitative than quantitative. However an increasing need exists to quantify these results. An examination of the knowledge in this field is made. Guidelines for further studies are proposed. They concern background, deconvolution methods and crystallographic effects.