X-RAY PHOTOELECTRON MICROPROBE ANALYSIS AND RELATED TECHNIQUES

Résumé
Il est bien connu que la focalisation et le balayage des faisceaux de photons X sont extrêmement difficiles. On peut surmonter ces difficultés en focalisant un faisceau d'électrons sur une anticathode en forme de film mince et en plaçant l'échantillon (lui-même en forme de film mince) au dos de l'anticathode. Ce principe a été mis en oeuvre dans un spectromètre Auger (légèrement modifié) dans le but de réaliser les premières expériences de : i) analyse par microsonde photoélectronique X ii) analyse par microsonde Auger induiteparles rayons X (radiation caractéristique et radiation continue) iii) microanalyse par microfluorescence X iv) microscopie photoélectronique X à balayage v) microradiographie X à balayage vi) spectroscopie Auger induite par des électrons sur des films minces.

Abstract
It is a well-known fact that the focusing and scanning X-ray photon beams is an extremely difficult operation. The difficulties which arise can be overcome by focusing and scanning an electron beam on a thin anode and by setting the target (in a thin form) on the back of the anode. We have done this in a (slightly modified) Auger spectrometer in order to perform the first experiments in : i) X-ray photoelectron microprobe analysis (XPMA) ii)(characteristic and continuous) X-ray-induced Auger microprobe analysis iii) fluorescent X-ray microanalysis (XRF) iv) scanning X-ray photoelectron microscopy (SXPM) v) scanning X-ray microradiography (SXR) vi) electron-induced Auger electron spectroscopy in thin films.