Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
Page(s) C2-149 - C2-154
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984233
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis

J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-149-C2-154

DOI: 10.1051/jphyscol:1984233

INSTRUMENTATION, ELECTRON OPTICS AND X-RAY SPECTROSCOPY

T. Mulvey

Department of Physics, The University of Aston in Birmingham, B4 7ET, U.K.


Résumé
Les développements récents dans le champ d'instrumentation du micro-analyseur à rayons X sont revus, ainsi que les canons électroniques, les systèmes des lentilles et les détecteurs des électrons rétrodiffusés (z contraste). Les améliorations souhaitables pour l'analyse des échantillons minces à l'aide de la spectrométrie à dispersion en énergie sont aussi discutées.


Abstract
Recent instrumental developments in the field of electron probe instrumentation are reviewed. These include electron guns, lens systems and back-scattered electron (z contrast) detectors. Desirable changes in instrumental design are discussed for the analysis of thin specimens by the use of energy dispersive spectrometers.