| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
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|---|---|---|
| Page(s) | C2-143 - C2-146 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984232 | |
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-143-C2-146
DOI: 10.1051/jphyscol:1984232
Surface Science Western and Department of Chemistry, University of Western Ontario, London, Ontario, Canada N6A 5B7
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-143-C2-146
DOI: 10.1051/jphyscol:1984232
SUPPRESSION OF MOLECULAR IONS IN SECONDARY ION MASS SPECTRA
N.S. McIntyre, W.J. Chauvin, J.B. Metson et G.M. BancroftSurface Science Western and Department of Chemistry, University of Western Ontario, London, Ontario, Canada N6A 5B7
Résumé
Des perfectionnements dans l'élimination des ions moléculaires dans les spectres SIMS ont été obtenus à l'aide d'un analyseur ionique : Cameca IMS-3F. Cette étude montre une diminution du nombre d'ions moléculaires d'un facteur 10 à 100 par rapport aux techniques classiques utilisant un décalage d'énergie.
Abstract
Improved suppression of molecular ions in SIMS spectra has been obtained using a Cameca IMS-3F ion microscope. The approach described results in the suppression of molecular ions by factors of 10-100 fold more than by classical "energy offset".