| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
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| Page(s) | C2-139 - C2-142 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984231 | |
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-139-C2-142
DOI: 10.1051/jphyscol:1984231
ASPECTS ANALYTIQUES DES ÉMISSIONS D'IONS SECONDAIRES ET D'ÉLECTRONS AUGER PAR LES ALLIAGES Fe-Al ET Cu-Al BOMBARDÉS EN ULTRA-VIDE PAR DES IONS Ar+
P. Viaris de Lesegno, R.-L. Inglebert et J.-F. HennequinC.N.R.S., laboratoire P.M.T.M., Université Paris-Nord, 93430 Villetaneuse, France
Résumé
L'étude comparée des émissions d'électrons Auger et d'ions secondaires à partir d'alliages Fe-Al et Cu-Al bombardés en ultra-vide par des ions Ar+ confirme la coexistence possible de deux mécanismes d'ionisation des particules éjectées : l'excitation électronique de surface au cours de la séparation de la cible (ions simplement chargés) et la désexcitation par effet Auger multiple à l'extérieur de la cible, après une excitation interne résultant d'une collision Al → Al suffisamment violente (ions multichargés des métaux légers).
Abstract
A comparative study on Auger electron and secondary ion emissions from Fe-Al and Cu-Al alloys bombarded in ultrahigh vacuum by Ar+ ions gives a new proof that two mechanisms may give rise to the ionization of sputtered particles : a surface excitation during the separation of the outgoing particle from the target (singly charged ions, including clusters) and a collisional process from the collisions Al → Al, with multiple Auger de-excitation outside the target (multicharged ions of light metals).