Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C10, Décembre 1983
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
Page(s) C10-205 - C10-208
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:19831042
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis

J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-205-C10-208

DOI: 10.1051/jphyscol:19831042

GROWTH OF THIN ALUMINA FILM ON ALUMINIUM AT ROOM TEMPERATURE : A KINETIC AND SPECTROSCOPIC STUDY BY SURFACE PLASMON EXCITATION

P. Dumas1, J.P. Dubarry-Barbe1, D. Rivière2, Y. Levy2 et J. Corset1

1  Laboratoire de Spectrochimie Infrarouge et Raman, 2, rue Henri Dunant, 94320 Thiais, France
2  Institut d'Optique, Centre d'Orsay, 91406 Orsay, France


Résumé
Les paramètres cinétiques, ainsi que l'épaisseur limite de l'alumine formée par oxydation de 1'aluminium, à température et à pression ambiantes, ont été déterminées par la technique de réflexion totale atténuée. Le film d'oxyde croît rapidement et atteint une épaisseur limite de 32 Å après 10 minutes d'exposition à l'air. Des temps d'exposition ultérieurs n'entraînent qu'une faible augmentation de l'épaisseur de l'alumine (environ 40 Å après trois mois d'exposition). Une étude par spectroscopie Raman révèle la présence d'entités OH à la surface de l'alumine, dont les fréquences de vibration sont identiques à celles enregistrées pour des OH adsorbés sur de l'alumine γ. Par contre, aucun signal Raman pouvant être attribué à l'alumine n'a été observé.


Abstract
The kinetic parameters and the limiting thickness of alumina formed on an aluminium film, at room temperature, under ambient pressure, can be determined by using an attenuated total reflection experimental set-up. An oxide layer growths rapidly and reaches a limiting thickness of about 032 Å after 10 minutes of exposure. Longer exposure time leads to a slow increase (about 40 Å after three months). Raman spectroscopic investigation reveals the presence of OH surface groups at the same frequency position as those observed on γ-alumina. No vibrational bands of the aluminium oxide was detected.