Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C10, Décembre 1983
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
Page(s) C10-75 - C10-78
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:19831015
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis

J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-75-C10-78

DOI: 10.1051/jphyscol:19831015

DIFFERENTIAL ELLIPSOMETRY

T. Sandström

Research Laboratory of Electronics, Chalmers University of Technology, S-412 96 Gothenburg, Sweden


Résumé
Les différentes méthodes d'ellipsométrie differentielle dans la littérature optique sont passées en revue. On présente une nouvelle méthode qui peut être réalisée par une conversion mécanique simple d'un ellipsomètre delta-psi. L'utilité de l'ellipsométrie vraiment différentielle est démontrée. Elle constitue un moyen de mesurer des différences entre surfaces faibles, mais ses applications ne sont pas nombreuses.


Abstract
A survey of ways to achieve differential ellipsometry is made, and a novel purely differential scheme is presented. The new scheme can be employed through a relatively simple mechanical conversion of a delta-psi ellipsometer. Alternatively it can be used to build simplified automatic instruments for particular applications. The usefulness of truly differential ellipsometry is assessed. It is shown that small differences between surface can be measured in some cases, but that differential ellipsometry has to be considered as a special technique with a limited number of applications.