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J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C10, Décembre 1983
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
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| Page(s) | C10-71 - C10-74 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:19831014 | |
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-71-C10-74
DOI: 10.1051/jphyscol:19831014
Department of Electrical Engineering, University of New Orleans, Lakefront, New Orleans, Louisiana 70148, U.S.A.
J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-71-C10-74
DOI: 10.1051/jphyscol:19831014
THEORY, IMPLEMENTATION AND APPLICATIONS OF AIDER
R.M.A. AzzamDepartment of Electrical Engineering, University of New Orleans, Lakefront, New Orleans, Louisiana 70148, U.S.A.
Résumé
La théorie, l'instrumentation et les applications de AIDER (éllipsométrie et réflectométrie avec modulation de l'angle d'incidence) sont brièvement passées en revue.
Abstract
The theory, modes of implementation, and applications of AIDER (angle-of-incidence derivative ellipsometry and reflectometry) are briefly reviewed.