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J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C10, Décembre 1983
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
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| Page(s) | C10-67 - C10-70 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:19831013 | |
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-67-C10-70
DOI: 10.1051/jphyscol:19831013
Department of Electrical Engineering, University of New Orleans, Lakefront, New Orleans, Louisiana 70148, U.S.A.
J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-67-C10-70
DOI: 10.1051/jphyscol:19831013
ELLIPSOMETRY OF UNSUPPORTED AND EMBEDDED THIN FILMS
R.M.A. AzzamDepartment of Electrical Engineering, University of New Orleans, Lakefront, New Orleans, Louisiana 70148, U.S.A.
Résumé
Nous décrivons ici une méthode explicite nouvelle de détermination simultanée de l'indice complexe et de l'épaisseur des couches minces absorbantes sans support par ellipsométrie de réflexion et transmission. Cette technique a été appliquée au cas d'une lame d'or.
Abstract
A technique for the simultaneous and explicit determination of the complex refractive index and thickness of an unbacked or embedded thin film by combined reflection and transmission ellipsometry at any angle of incidence is presented and applied to an ultrathin gold foil.