Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C10, Décembre 1983
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
Page(s) C10-39 - C10-43
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:19831007
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis

J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-39-C10-43

DOI: 10.1051/jphyscol:19831007

DETERMINATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF GaAs AND InP BY MULTIPLE ANGLE OF INCIDENCE ELLIPSOMETRY

H.W. Dinges

Forschungsinstitut der Deutschen Bundespost beim FTZ, 6100 Darmstadt, F.R.G.


Résumé
L'éllipsométrie à plusieurs angles d'incidence φ a été utilisée pour déterminer les constantes optiques de GaAs et de InP. Cette méthode n'a jusqu'ici été appliquée ni à GaAs ni à InP. Les quotients normalisés des premières dérivées de Ɗ par rapport aux constantes optiques sont calculés pour GaAs et InP. Il est démontré, que c'est seulement dans la gamme étroite de φ entre 72° et 77°, pour des longueurs d'onde entre 436 et 870 nm, qu'il n'existe pas de corrélation entre les paramètres. Dans cette gamme d'angles, il n'y a, pour une longueur d'onde donnée, que quelques solutions discrètes pour les constantes optiques. Pour trouver la solution vraie, il faut effectuer des mesures à des longueurs d'onde différentes, en exigeant que nox et dox restent inchangés. Les résultats obtenus pour GaAs et InP sont présentés.


Abstract
Multiple angle of incidence ellipsometry was used for the determination of the optical constants of GaAs and InP. This method has not been applied to GaAs and InP so far. The normalized ratios of the first derivatives of Ɗ with respect to the optical constants are computed for GaAs and InP. This computation shows that only in the small range of angles of incidence between 72° and 77° at wavelengths between 436 and 870 nm no correlation of parameters occurs. In this range of angles only a few discrete solutions for the optical constants exist for a given wavelength. The physically true solution can be distinguished by measuring at several wavelengths. The solution is made unique by the demand that nox and dox must remain unchanged for the different wavelengths. - Experimental results for GaAs and InP are presented.