Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 34, Numéro C5, Novembre 1973
CONGRÈS DU CENTENAIRE DE LA SOCIÉTÉ FRANÇAISE DE PHYSIQUE
IMPLANTATION ET DÉFAUTS D'IRRADIATION
Page(s) C5-131 - C5-136
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:1973525
CONGRÈS DU CENTENAIRE DE LA SOCIÉTÉ FRANÇAISE DE PHYSIQUE
IMPLANTATION ET DÉFAUTS D'IRRADIATION

J. Phys. Colloques 34 (1973) C5-131-C5-136

DOI: 10.1051/jphyscol:1973525

DIFFUSION ACCÉLÉRÉE PAR IRRADIATION DANS LE SILICIUM. ÉTUDE DE LA CINÉTIQUE ET DE LA DISTRIBUTION DES IMPURETÉS

P. BARUCH1, M. BOUVATIER1, C. PICARD1, Y. EPELBOIN2, J. MONNIER3 and B. NETANGE4

1  Groupe de Physique des Solides de l'ENS Université Paris VII, Tour 23 2, place Jussieu, 75221 Paris Cedex 05
2  Laboratoire de Cristallographie Université Paris VI, Tour 26 4, place Jussieu, 75230 Paris Cedex 05
3  LETI, CENG, BP 85, 38041 Grenoble
4  Laboratoire Central de Recherches Thomson-CSF BP 10, 91401 Orsay


Résumé
L'étude de la diffusion accélérée des impuretés dans le silicium, sous l'effet d'un bombardement de protons, a été reprise. La détermination de la distribution des impuretés apparaît nécessaire afin de mieux comprendre le mécanisme de diffusion. Des résultats préliminaires sont présentés ici. Nous avons calculé le profil théorique et son évolution dans le modèle d'une diffusion lacunaire, avec une cinétique d'ordre 1, et nous les avons comparés avec les profils expérimentaux obtenus sur des échantillons bombardés par des protons de 5 à 600 keV. La théorie lacunaire simple ne peut pas rendre compte de l'ensemble des résultats expérimentaux : la longueur de diffusion des lacunes dépend de l'énergie d'irradiation, variant de 0,2 µm pour 30 keV à 5 µm pour 600 keV ; les profils expérimentaux, dans certains cas, sont très éloignés des profils calculés.


Abstract
We have started again the study of radiation enhanced diffusion of impurities in proton bombarded silicon. It appears necessary to have a better knowledge of the impurity distribution, to understand the basic mechanisms for enhanced diffusion. Only preliminary results are presented here. We have calculated the theoretical impurity profile and its evolution in a vacancy diffusion model, with first order kinetics, and we have made the comparison with experimental profiles, obtained on samples irradiated with 5 to 600 keV protons. The simple vacancy model cannot account for the experimental results : the vacancy diffusion length depends on the irradiation energy, ranging from 0.2 µm for 30 keV protons to 5 µm for 600 keV protons ; the experimental profiles, in some cases, are totally different from the calculated profiles.