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J. Phys. Colloques
Volume 34, Numéro C5, Novembre 1973
CONGRÈS DU CENTENAIRE DE LA SOCIÉTÉ FRANÇAISE DE PHYSIQUEIMPLANTATION ET DÉFAUTS D'IRRADIATION |
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Page(s) | C5-125 - C5-130 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1973524 |
IMPLANTATION ET DÉFAUTS D'IRRADIATION
J. Phys. Colloques 34 (1973) C5-125-C5-130
DOI: 10.1051/jphyscol:1973524
ACCÉLÉRATION DE DIFFUSION SOUS IRRADIATION IONIQUE
M. BEYELER1, C. FICHE2 and M. LOTT21 DT/SRMP, CEN/Saclay
2 DPRMA/SPE, CEN/Far. DRPMA/SPE, CEN/Fontenay-aux-Roses, France
Résumé
On a étudié l'accélération de diffusion d'atomes de nickel et de cuivre introduits par implantation sous forme d'ions Ni+ et Cu+ de 500 keV dans des monocristaux de cuivre et d'aluminium. On a mesuré les profils de concentration à l'aide d'un analyseur ionique et on a comparé l'évolution observée des profils en fonction de la température d'irradiation avec les prévisions théoriques. Un bon accord est apparu entre les profils théoriques d'implants et les profils relevés sur les échantillons irradiés à l'ambiante. On a mis en évidence une accélération de la diffusion sur les profils de concentration obtenus à chaud. Elle est de 103 dans le cas Ni/Cu à 350°C et de 102 dans le cas Cu/Al à 200°C pour un taux instantané de production de défauts de 2 × 10-3 dpa/s.
Abstract
We have investigated the enhancement diffusion for nickel and copper atoms implanted as Ni+ and Cu+ ions (500 keV) in single crystals copper and aluminium. The concentration profiles were determined by means of an ion analyser and the evolution as function of irradiation temperature was compared to theoretical predictions. The agreement is good for irradiation at room temperature. An enhancement of diffusion was observed for higher temperature by 103 for nickel/copper at 350°C and by 102 for copper/aluminium at 200°C. The production rate of defect was 2 × 10-3 dpa/s.