| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 33, Numéro C2, Avril 1972
2e CONGRÈS EUROPÉEN DE FERROÉLECTRICITÉ
|
|
|---|---|---|
| Page(s) | C2-263 - C2-265 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1972292 | |
J. Phys. Colloques 33 (1972) C2-263-C2-265
DOI: 10.1051/jphyscol:1972292
APPLICATIONS
PRÉPARATION ET PROPRIÉTÉS DE COUCHES MINCES DU TYPE PEROVSKITE (OXYDES MIXTES ABO3)
L. M. REIBER Laboratoire Central de Recherches, THOMSON-C. S. F., 91-Orsay, France
Résumé
Des couches minces (0,2 à 1 µm) de Titanate de Baryum (BaTiO3) et de Niobate de Lithium (LiNbO3) ont été déposées sur des feuilles de platine et des plaquettes de silicium (structure M. I. S.). Dans ce travail, nous avons étudié des couches minces polycristallines déposées par pulvérisation cathodique radio-fréquence (R. F.) de cibles en céramique. Avec une température des substrats inférieure à 300 °C pendant la réalisation des couches, nous avons obtenu des dépôts isolants de structure amorphe, et ayant une constante diélectrique faible, cependant avec un post-traitement thermique ˜ 600 °C, les dépôts présentent des propriétés ferroélectriques (constante diélectrique élevée, non-linéarité, etc...). Cependant, l'amplitude des phénomènes est encore faible et difficilement contrôlable, mais les résultats encourageants que nous avons obtenus justifient la continuation de nos travaux.