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J. Phys. Colloques
Volume 50, Number C6, Juin 1989
Beam Injection Assessment of Defects in SemiconductorsInternational Workshop |
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| Page(s) | C6-65 - C6-72 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989606 | |
Beam Injection Assessment of Defects in Semiconductors
International Workshop
J. Phys. Colloques 50 (1989) C6-65-C6-72
DOI: 10.1051/jphyscol:1989606
H H Wills Physics Laboratory, Tyndall Avenue, GB-Bristol BS8 1TL, Great-Britain
International Workshop
J. Phys. Colloques 50 (1989) C6-65-C6-72
DOI: 10.1051/jphyscol:1989606
PERFORMANCE AND APPLICATIONS OF A STEM-CATHODOLUMINESCENCE SYSTEM
J.W. STEEDSH H Wills Physics Laboratory, Tyndall Avenue, GB-Bristol BS8 1TL, Great-Britain
Résumé
Une revue des considérations de conception dont on a tenu compte dans le développement d'un système STEM-CL est donnée. Les résultats de la mise en oeuvre sont évalués par comparaison avec d'autres montages de détection de la luminescence de semiconducteurs. Finalement, quelques résultats typiques obtenus à l'aide du système sont utilisés comme exemples de son application.
Abstract
A review is given of the design considerations taken into account in developing a STEM CL System. The results of the implementation are evaluated in comparison with other arrangements for obtaining luminescence from semiconductors. Finally some typical results obtained with the System are used as examples of its application.