SPUTTERED NdFe FILMS WITH PERPENDICULAR ANISOTROPY

Résumé
Des films minces de Nd-Fe avec une concentration en Nd d'environ 60 at %, préparés par pulvérisation r.f. sur des substrats en verre à température ambiante, ont été étudiés par effet Kerr polaire. Tous les films présentent des cycles d'hystérésis relativement carrés, le champ étant inversé selon la normale aux films, avec des rectangularités proches de 1, et une rotation Kerr polaire à saturation d'environ 0,4°. Quelques films obtenus avec une grande vitesse de pulvérisation présentent de façon inhabituelle de forts champs coercitifs, 1 à 4 kOe, et une nette diminution du pouvoir réflecteur. Il a été montré, au microscope électronique à balayage, que cette dernière propriété est associée à la formation de fines articules à la surface.

Abstract
Thin films of NdFe with composition in the region of 60 at.% Nd have been prepared by r.f.sputtering on to glass substrates at room temperature and investigated using the polar Kerr effect . All films exhibit relatively square hysteresis loops when the field is reversed along the film normal, many with squareness ratios close to 1.0, and saturation polar Kerr rotations about 0.4°. Some films prepared at very high deposition rates exhibit unusually large coercivities, 1-4kOe, and show a marked reduction in surface reflectivity which a Scanning Electron Microscope investigation showed to be associated with the onset of fine particle formation at the surface.