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J. Phys. Colloques
Volume 46, Number C6, Septembre 1985
MMA' 85Europhysics Conference on Magnetic Materials for Applications |
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| Page(s) | C6-105 - C6-109 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1985619 | |
Europhysics Conference on Magnetic Materials for Applications
J. Phys. Colloques 46 (1985) C6-105-C6-109
DOI: 10.1051/jphyscol:1985619
RF SPUTTERED CoCr ALLOY FOR PERPENDICULAR RECORDING ON RIGID DISC
D. Jeanniot1 et J. Desserre21 BULL, DRTG/RTSA, rue Jean Jaurès , B.P. 53, 78340 Les Clayes sous Bois, France
2 ERNERTEC / SCHLUMBERGER, 1 rue, Nieuport, B.P.54, 78141 Vélizy - Villacoublay cedex, France.
Résumé
Les alliages CoCr [1] et MT-TR [2,3] conviennent à l'enregistrement magnétique perpendiculaire. Plusieurs méthodes de dépôt [4] sont étudiées pour ces couches : pulvérisation RF et magnétron et le canon à électrons. Dans cet article, l'épaisseur, les tensions de polarisation et de cathode ainsi que la pression d'argon sont optimisées vis-à-vis de l'anisotropie perpendiculaire de couches minces de CoCr pulvérisées RF. La concentration en Cr (≈ 17 at.%) et donc, cette anisotropie, sont trop faibles. Néanmoins, des tests d'enregistrement montrent que le mode perpendiculaire peut être obtenu avec une certaine configuration d'écriture.
Abstract
The CoCr [1] and RE-TM [2,3] alloys are suitable for perpendicular magnetic recording. Several deposition methods [4] are studied for these layers : RF and magnetron sputtering and e-beam evaporation. In this paper, the thickness, the bias and cathode voltages and the argon pressure are optimized with respect with the perpendicular anisotropy of RF sputtered CoCr thin films. Although with a Cr content of 17 at.%, the anisotropy is weak, it is shown that in certain writing configuration recording, the perpendicular mode can be obtained.