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J. Phys. Colloques
Volume 44, Number C5, Octobre 1983
Interactions Laser-Solides, Recuits par Faisceaux d'Energie / Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials
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| Page(s) | C5-343 - C5-350 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1983551 | |
Interactions Laser-Solides, Recuits par Faisceaux d'Energie / Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials
J. Phys. Colloques 44 (1983) C5-343-C5-350
DOI: 10.1051/jphyscol:1983551
L.E.T.I., Commissariat à l'Energie Atomique, 85X, 38041 Grenoble Cedex, France
J. Phys. Colloques 44 (1983) C5-343-C5-350
DOI: 10.1051/jphyscol:1983551
THERMAL MODELING OF CW LASER-CRYSTALLIZATION OF SOI
J.M. Hode et J.P. JolyL.E.T.I., Commissariat à l'Energie Atomique, 85X, 38041 Grenoble Cedex, France
Résumé
Dans le cadre d'une étude de recristallisation de silicium sur isolant par faisceau laser continu balayé nous présentons des modèles thermiques analytiques prenant en compte les différents paramètres physiques (conductivité thermique, réflectivité, chaleur latente). L'influence de ces paramètres est évaluée et comparée aux résultats expérimentaux.
Abstract
We present analytical thermal models for CW laser - crystallization of SOI, taking account of various physical parameters (thermal conductivity, reflectivity, latent heat). The influence of these parameters is evaluated and compared to experiment.