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J. Phys. Colloques
Volume 50, Numéro C2, Février 1989
Second International Workshop on MeV and keV Ions and Cluster Interactions with Surfaces and Materials
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| Page(s) | C2-69 - C2-74 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989213 | |
J. Phys. Colloques 50 (1989) C2-69-C2-74
DOI: 10.1051/jphyscol:1989213
MOLECULAR SPUTTERING AND DAMAGE INDUCED BY keV IONS IN MULTILAYERED LANGMUIR-BLODGETT FILMS
G. BOLBACH, R. GALERA and J.C. BLAISLaboratoire de Physique et Chimie Biomoléculaire, CNRS UA-198, Institut Curie et Université Pierre et Marie Curie, 11, rue Pierre et Marie Curie, F-75231 Paris Cedex 05, France
Résumé
Les effets d'irradiation (érosion et endommagement) induits par des ions de faible énergie (keV) dans des films de Langmuir-Blodgett de différentes épaisseurs ont été étudiés à différents angles d'incidence pour des doses ≤ 3 x 1013 ions.cm-2. Ces films, composés de monocouches superposées et distinctes, permettent de suivre en spectrométrie de masse d'ions secondaires (SIMS) l'évolution, au cours du bombardement, de l'intensité de l'ion moléculaire associé à une profondeur donnée. Au voisinage de l'incidence normale, le volume excité par l'ion primaire est caractérisé par une extension radiale faible par rapport à son extension en profondeur.
Abstract
The irradiation effects (sputtering and damage) induced by keV ion in Langmuir-Blodgett films of different thickness are studied for different incidence angles and for doses up to 3 x 1013 ions.cm-2. The films composed of different superposed monolayers allow to study, in SIMS, the evolution of the molecular ion intensity as a function of film depth. The volume excited by the primary ion is characterized at small incidence angle by a small radial extension with respect to its depth extension.