SINGLE ATOM DETECTABILITY OF A ToF ATOM-PROBE

Résumé
A l'aide de notre nouvelle sonde à atomes à focalisation qui est capable de détecter tous les signaux entrant dans le trou-sonde avec 100 % d'efficacité de détection, nous avons essayé d'évaluer l'erreur de visée d'une sonde à atomes à temps de vol. Nos résultats préliminaires suggèrent que l'erreur de visée est surtout due au glissement du disque d'ionisation à partir de la position réelle de l'atome. Sur les plans d'indice faible, il est possible de détecter chaque atome individuel en compensant ce déplacement. Cependant, dans le cas de certains plans d'indice élevé, il est plutôt difficile de prédire la différence de trajectoire ionique entre les ions issus du gaz image et les ions métalliques évaporés et ainsi l'efficacité de détection est inévitablement basse.

Abstract
Making use of our new focusing type ToF atom-probe which is capable of detecting all the signals entering into the probe hole with 100 % detection efficiency, we have attempted to evaluate the aiming-error of a ToF atom-probe. Our preliminary data suggests that the aiming-error is primarily due to the shift of the ionization disc from the actual atom position. In the low index planes it is possible to detect every single atom by compensating this shift. However in the case of some of the high index planes, it is rather difficult to predict the difference in ion trajectory between imaging gas ion and evaporated metal ion and thus the detection efficiency is unavoidably low.