| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
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| Page(s) | C2-291 - C2-296 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984265 | |
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-291-C2-296
DOI: 10.1051/jphyscol:1984265
Physikalisches Institut, Universität Münster, Domagkstrasse 75, D-4400 Münster, F.R.G.
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-291-C2-296
DOI: 10.1051/jphyscol:1984265
QUANTITATIVE SCANNING ELECTRON MICROSCOPY OF SURFACES
L. ReimerPhysikalisches Institut, Universität Münster, Domagkstrasse 75, D-4400 Münster, F.R.G.
Résumé
Les informations relatives à la topographie et à la composition de l'échantillon, contenues dans les images en électrons secondaires et en électrons rétrodiffusés, peuvent être quantitatives. Elles nécessitent d'être obtenues avec des détecteurs différents convenablement placés.
Abstract
The emissive modes of secondary and backscattered electrons in a scanning electron microscope work more quantitavely for material and topographic contrasts and can better separate different types of contrast when using a multi-detector system.