| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
|
|---|---|---|
| Page(s) | C2-653 - C2-656 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:19842152 | |
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-653-C2-656
DOI: 10.1051/jphyscol:19842152
CHARACTERIZATION OF OXIDE FILMS ON Fe-Cr-Al ALLOYS AND RF-SPUTTERED FILMS BY SOFT X-RAY SPECTROSCOPY AND MICROANALYSIS
S. MarunoMaterials Research Laboratory, Nagoya Institute of Technology, Nagoya 466, Japan
Résumé
Il a été montré que la spectroscopie des rayons X nous excités par électrons et la microanalyse avec SEM et STEM, équipés d'un détecteur de rayons X par dispersion d'énergie sont efficaces pour la caractérisation et l'étude de la structure de la surface du film d'oxyde formé sur les alliages Fe-Cr-Al et sur les films obtenus par pulvérisation radio-fréquence, chauffés dans l'air pendant des périodes variées à des températures allant de 500 à 1250 °C.
Abstract
It has been shown that electron-excited soft X-ray spectroscopy using EPMA and microanalysis with SEM and STEM, equipped with energy dispersive X-ray detector, are an effective measure for studying the characterization and surface structure of oxide film formed on Fe-Cr-Al alloys and rf-sputtered films, heated for various times at high temperatures from 500 to 1250 °C in air.