Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
Page(s) C2-441 - C2-444
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:19842100
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis

J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-441-C2-444

DOI: 10.1051/jphyscol:19842100

MICROANALYSIS TECHNIQUE USING ELECTRON ENERGY LOSS SPECTROSCOPY IN HIGH VOLTAGE ELECTRON MICROSCOPY

J. Sevely1, Y. Kihn2, G. Zanchi2 et B. Jouffrey2

1  Laboratoire d'optique Electronique du C.N.R.S.associé à l'Universtié Paul Sabatier, 29 rue Jeanne Marvig, 31055 Toulouse Cedex, France
2  Laboratoire d'optique Electronique du C.N.R.S., 29 rue Jeanne Marvig, 31055 Toulouse Cedex, France


Résumé
En vue de l'utilisation de la spectroscopie de pertes d'énergie d'électrons à très haute tension, pour l e développement de la microanalyse, on étudie la variation du contraste des distributions caractéristiques d'ionisation du niveau K du carbone en fonction de l'énergie des électrons primaires (entre 0,3 et 1 MeV). Cette étude permet de conclure à un avantage des hautes tensions dans ce domaine.


Abstract
With the purpose of using EELS for the development of microanalysis, the variation of the jump-ratio at the carbon K-edge is studied as a function of the primary electron incident energy (0.3 - 1 MeV). This study shows an interest in using high accelerating voltage in that field.