| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
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| Page(s) | C2-25 - C2-28 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984206 | |
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-25-C2-28
DOI: 10.1051/jphyscol:1984206
MICROANALYSE EN INCIDENCE RASANTE
C. Landron1 et K. Raouadi21 Faculté des Sciences et Techniques, Sfax, Tunisie
2 Faculté des Sciences, Tunis, Tunisie
Résumé
L'utilisation d'une microsonde électronique en incidence rasante pour la caractérisation des couches minces est décrite. La simulation des trajectoires électroniques par la méthode de Monte-Carlo montre que les calculs de correction effectués en microanalyse ne dépendent pas de la composition de la couche mince sauf pour l'absorption et la fluorescence dont les effets sont faibles dans ce cas. On note un bon accord entre les résultats théoriques et expérimentaux.
Abstract
A simple method is presented wherby an electron probe can be used at grazing incidence for supported thin film characterization. Monte carlo calculations show that a part from X-Ray absorption and fluorescence which are weak in this particular case, microanalysis correction calculations do not depend on the film composition. Fair agreement between the experimental results and theoretical calculations are obtained.