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J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C5, Octobre 1983
Interactions Laser-Solides, Recuits par Faisceaux d'Energie / Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials
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| Page(s) | C5-87 - C5-90 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1983514 | |
J. Phys. Colloques 44 (1983) C5-87-C5-90
DOI: 10.1051/jphyscol:1983514
TRANSIENTS IN CW LASER HEATING OF SEMICONDUCTORS : GENERAL METHOD, ANALYTICAL SOLUTIONS AND ILLUSTRATIONS
A. Maruani1, Y.I. Nissim2, F. Bonnouvrier2 et D. Paquet21 ENST/EPH, 46 rue Barrault, 75013 Paris
2 C.N.E.T., Laboratoire de Bagneux, 196 rue de Paris, 92220 Bagneux, France
Résumé
La méthode des transformées intégrales est appliquée à l'équation nonlinéaire de la chaleur pour déterminer l'échauffement d'un semiconducteur irradié par un laser continu. Pour le transitoire, on traite exactement les nonlinéarités dues aux variations de la conductivité thermique et adiabatiquement celles dues aux variations de la chaleur spécifique. On envisage l'influence du coefficient d'absorption, et de la forme du faisceau laser. Pour tous les cas considérés, les expressions obtenues sont analytiques.
Abstract
The method of integral transforms is applied to the nonlinear heat equation to determine the heating of a semiconductor irradiated by a CW laser beam. For the transient, the nonlinearities associated to the variations of the thermal conductivity are treated exactly and those due to the variations of the specific heat adiabatically. The influence of the absorption coefficient, and the shape of the laser beam are treated. For all the cases considered, the results are in analytical form.