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J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C5, Octobre 1983
Interactions Laser-Solides, Recuits par Faisceaux d'Energie / Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials
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| Page(s) | C5-83 - C5-86 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1983513 | |
Interactions Laser-Solides, Recuits par Faisceaux d'Energie / Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials
J. Phys. Colloques 44 (1983) C5-83-C5-86
DOI: 10.1051/jphyscol:1983513
1 CIRIL, B.P. 5133, 14040 Caen Cedex, France.
2 CRN, Groupe PHASE, 67037 Strasbourg Cedex, France
3 Institute of Physics, Univ. of Aarhus, DK-8000 Aarhus, Denmark.
J. Phys. Colloques 44 (1983) C5-83-C5-86
DOI: 10.1051/jphyscol:1983513
DEPTH MEASUREMENT OF THE PHASE CHANGE UNDER PULSED RUBY LASER ANNEALING
M. Toulemonde1, R. Heddache2, F. Nielsen3 et P. Siffert21 CIRIL, B.P. 5133, 14040 Caen Cedex, France.
2 CRN, Groupe PHASE, 67037 Strasbourg Cedex, France
3 Institute of Physics, Univ. of Aarhus, DK-8000 Aarhus, Denmark.
Résumé
Une brève impulsion de lumière (20 ns), délivrée par un laser rubis induit un changement de phase à la surface d'un monocristal de silicium. Il est reporté une mesure directe de l'épaisseur sur laquelle s'effectue ce changement de phase, les résultats expérimentaux sont en excellent accord avec les valeurs déduites d'un modèle purement thermodynamique.
Abstract
Irradiation of crystalline silicon by pulsed ruby laser induces a surface phase change. A direct measurement of the maximum thickness phase change is reported. Successful comparison with a thermal model is done.