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J. Phys. Colloques
Volume 34, Numéro C5, Novembre 1973
CONGRÈS DU CENTENAIRE DE LA SOCIÉTÉ FRANÇAISE DE PHYSIQUEIMPLANTATION ET DÉFAUTS D'IRRADIATION |
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| Page(s) | C5-21 - C5-25 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1973505 | |
IMPLANTATION ET DÉFAUTS D'IRRADIATION
J. Phys. Colloques 34 (1973) C5-21-C5-25
DOI: 10.1051/jphyscol:1973505
ÉTUDE EN MICROSCOPIE ÉLECTRONIQUE DE DÉFAUTS CRÉÉS DANS LES MÉTAUX PAR IMPLANTATION IONIQUE
M. O. RUAULT1, B. JOUFFREY1, J. CHAUMONT2 and H. BERNAS31 Laboratoire d'Optique Electronique CNRS, 29, rue Jeanne-Marvig, 31055 Toulouse Cedex
2 Laboratoire R. Bernas CNRS, BP 1, 91406 Orsay
3 Institut de Physique Nucléaire, Université de Paris-Sud, 91405 Orsay
Résumé
L'étude des défauts d'irradiation aux ions (créés essentiellement dans des cibles d'or) a été menée à l'aide de la microscopie électronique par transmission. Les courbes de distribution en profondeur des défauts et leur nature sont présentées, ainsi que quelques résultats concernant des irradiations ultérieures aux électrons (de 2,5 MeV) réalisées dans le microscope électronique à haute tension de 3 MV du laboratoire.
Abstract
Results concerning ion-irradiations, principally in thin gold foils, are obtained by using Transmission Electron Microscopy. Depth distribution curves of defects are presented. The nature of these defects has been determined. We give some results concerning the effect of electron irradiation (2.5 MeV) in preimplanted gold samples by using the 3 MV high voltage microscope of the laboratory.