| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
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| Page(s) | C2-401 - C2-405 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984291 | |
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-401-C2-405
DOI: 10.1051/jphyscol:1984291
QUANTITATIVE X-RAY ENERGY DISPERSIVE ANALYSIS OF THIN FOILS
W.E. Voice et R.G. FaulknerDepartment of Materials Engineering and Design, Loughborough University of Technology, U.K.
Résumé
On décrit une méthode de microanalyse X quantitative des lames minces en microscopie électronique en transmission à balayage (STEM). La méthode prédit des facteurs de correction dépendant de l'épaisseur de la lame, de l'angle d'inclinaison de l'échantillon et de variables instrumentales. On montre que l'absorption peut être importante dans les alliages base nickel même pour des épaisseurs voisines de 1000 Å.
Abstract
A procedure for making quantitative X-ray analysis of thin foils in scanning transmission electron microscopes (STEM) is described. The technique predicts correction parameters based on the thickness of the foil, the specimen geometry and electron microscope instrumental variables. It is shown that absorption can play an important role in nickel based alloy specimens even at foil thicknesses of around 1000 Å.