MÉTHODE D'ANALYSE DE GAZ EN AMONT ET EN AVAL DE RÉACTEURS DE MOVPE EN VUE DE LA MISE AU POINT DE PROCESS

B. CROS; M. STOEHR; M. MAURIN; A. MATHIEU; J.-M. FABRE; L. GIRAL

doi:doi:10.1051/jphyscol:1989504

Issue		J. Phys. Colloques Volume 50, Number C5, Mai 1989 Actes de la 7ème Conférence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse / Proceedings of the Seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition


Page(s)		C5-14 - C5-14
DOI		http://dx.doi.org/10.1051/jphyscol:1989504

Actes de la 7ème Conférence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse / Proceedings of the Seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition

J. Phys. Colloques 50 (1989) C5-14-C5-14
DOI: 10.1051/jphyscol:1989504

MÉTHODE D'ANALYSE DE GAZ EN AMONT ET EN AVAL DE RÉACTEURS DE MOVPE EN VUE DE LA MISE AU POINT DE PROCESS

B. CROS¹, M. STOEHR¹, M. MAURIN¹, A. MATHIEU², J.-M. FABRE² et L. GIRAL²

¹ Laboratoire de Physicochimie des Matériaux Solides, U.R.A. D 0407, Place Eugène-Bataillon, F-34060 Montpellier Cedex 1, France
² Laboratoire de Chimie Structurale Organique, Université des Sciences et Techniques du Languedoc, Place Eugène-Bataillon, F-34060 Montpellier Cedex 1, France

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