STUDY OF THE CHARACTERISTICS OF INORGANIC LAYERS OBTAINED BY PLASMA-CHEMICAL PRECIPITATION ON POLYMERS

Résumé
Les méthodes de l'XPS, la spectroscopie IR de la réflexion de surface et la spectroscopie électronique ont été utilisées pour l'étude des couches inorganiques obtenues sur le polymère pendant la synthèse plasmochimique. Les couches de Si₃N₄, ALN, SiO₂ ont été synthétisées sur la surface des polymides par des méthodes plasmochimiques diverses. Les investigations par la méthode XPS ont démontrées que le substrat polymérique participe activement au processus de la synthèse. L'étude par la microscopie électronique des étapes initiales a démontrée que la croissance commence par la formation de noyaux ayant le structure de dendrites typiques pour les couches polymériques déposées. Les résultats expérimentaux permettent de tirer la conclusion qu'il est possible d'obtenir les diverses structures polymére-inorganiques à l'exception entièrement de l'interface.

Abstract
Inorganic films obtained on the polymer support during plasma-chemical synthesis have investigated by XPS, IR-reflectance spectroscopy and SEM. The layers of Si₃ N₄, ALN, SiO₂ were obtained of plasma chimical precipitation on the surface of polyimide films. The results of XPS investigations showed that the polymer support takes an active part in the formation of the inorganic film. The data of electron microscopy in the initial stages of film growth indicate that in the first stage nuclei are formed. They are uniformly distributed on the surface of the polymer support and exhibit a pronounced dendrite structure. The experimental results suggest that under experimental conditions makes it possible to obtain various polymer-inorganic structure devoid of the interface.