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J. Phys. Colloques
Volume 50, Numéro C8, Novembre 1989
36th International Field Emission Symposium
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Page(s) | C8-519 - C8-521 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989889 |
J. Phys. Colloques 50 (1989) C8-519-C8-521
DOI: 10.1051/jphyscol:1989889
LOW-ENERGY ELECTRON PROJECTION MICROSCOPY
W. STOCKER1, H.-W. FINK1 et R. MORIN21 IBM Research Division, Zurich Research Laboratory, CH-8803 Rüschlikon, Switzerland
2 CRMC2, CNRS, Campus de Luminy, Case 913, F-13288 Marseille Cedex, France
Résumé
Une pointe ultra-fine, préparée par des techniques de microscopie ionique de champ est placée très près d'une feuille de carbone ajournée. La courte distance entre le film de carbone perforé et la pointe est obtenue à l'aide d'un mécanisme d'approche similaire à celui utilisé en microscopie tunnel à balayage. Avec un détecteur à une distance macroscopique de la feuille de carbone, côté opposé à l'émetteur, on observe une image en projection des trous et de leurs structures internes. Les plus petits détails ainsi détectés ont des diamètres d'environ 30 nm. Le contraste est produit par des électrons d'énergie aussi basse que 30 volts.
Abstract
An ultrasharp tip, prepared by field ion microscopy techniques, has been placed in close proximity to a partly transparent carbon foil. The short distance between the perforated carbon film and the tip is achieved by an STM-like approach mechanism. With a detector at a macroscopic distance opposite the emitter side, a projection image of the holes and structures therein can be observed. The smallest features detected in this way have diameters of about 30 nm. The contrast is generated by electrons with energies as low as 30 eV.