Actes de la 7ème Conférence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse / Proceedings of the Seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition

J. Phys. Colloques 50 (1989) C5-311-C5-321
DOI: 10.1051/jphyscol:1989538

BORON CARBIDE COATINGS : CORRELATION BETWEEN MECHANICAL PROPERTIES AND LPCVD PARAMETERS VALUES

J. REY^{1, 2}, G. MALE³, Ph. KAPSA⁴ et J.L. LOUBET<sup>4

1</sup>  Coating Development, Pôle de Productique, 74, rue des Acieries, F-42000 Saint Etienne, France
²  S.E.P., Le Haillan, B.P. 37, 33165 SAINT MEDARD EN JALLES Cedex, France
³  I.M.P. CNRS, BP. 5, ODEILLO, F-66120 Font Romeu, France
⁴  Ecole Centrale de Lyon, Laboratoire de Technologie des Surfaces, CNRS UA-855, 36, avenue Guy de Collongue, BP. 163, F-69131 Ecully Cedex, France

Résumé
Des dépôts de carbure de bore ont été élaborés par L.P.C.V.D. Leurs caractéristiques (taille de grain, composition, texture) varient fortement avec la température du substrat et la composition du mélange gazeux. L'effet de ces deux paramètres sur la microdureté, le comportement élastoplastique et le module d'YOUNG ont été déterminés par des tests d'indentation instrumentés. Les variations des caractéristiques sont analysées.

Abstract
Boron carbide coatings have been prepared by L.P.C.V.D. Their characteristics (i.e. grain size, composition, texture) depend heavily on the substrate temperature and gas mixture composition. The effects of these two parameters on microhardness, elastoplastic behavior and YOUNG's modulus, have been determined by indentation tests and are discussed in terms of variations in the coating characteristics.