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J. Phys. Colloques
Volume 50, Numéro C5, Mai 1989
Actes de la 7ème Conférence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse / Proceedings of the Seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition
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| Page(s) | C5-295 - C5-310 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989537 | |
J. Phys. Colloques 50 (1989) C5-295-C5-310
DOI: 10.1051/jphyscol:1989537
COATINGS CHARACTERIZATIONS BY THE MIRAGE EFFECT AND THE PHOTOTHERMAL MICROSCOPE
J.P. ROGER, D. FOURNIER, A.C. BOCCARA et F. LEPOUTRELaboratoire d'Optique Physique, CNRS ER-5, Ecole Supérieure de Physique et de Chimie, 10, rue Vauquelin, F-75231 Paris Cedex 05, France
Résumé
L'effet mirage et le microscope photothermique sont des méthodes optiques capables de mesurer sans contact les propriétés optiques et thermiques des revêtements. Très simples dans leur principe, ces méthodes sont décrites avec précision par des modèles théoriques et sont ainsi quantitatives. Des mesures de propriétés moyennes ou locales (la résolution peut atteindre le micromètre) illustrent les principales applications : détection de très faibles absorptions, spectres de films semiconducteurs, contrôle non destructif.
Abstract
The mirage effect and the photothermal microscope are totally optical methods able to measure without any contact optical and thermal properties of coatings. Very simple in their principle the methods are described precisely by theoretical models and thus are quantitative. Bulk as well as localized measurements (spatial resolutions about 1 µm can be achieved) illustrate the main applications : very weak absorption detection, spectra of semiconductors films, non destructive testing.