Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 50, Numéro C5, Mai 1989
Actes de la 7ème Conférence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse / Proceedings of the Seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition
Page(s) C5-14 - C5-14
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989504
Actes de la 7ème Conférence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse / Proceedings of the Seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition

J. Phys. Colloques 50 (1989) C5-14-C5-14

DOI: 10.1051/jphyscol:1989504

MÉTHODE D'ANALYSE DE GAZ EN AMONT ET EN AVAL DE RÉACTEURS DE MOVPE EN VUE DE LA MISE AU POINT DE PROCESS

B. CROS1, M. STOEHR1, M. MAURIN1, A. MATHIEU2, J.-M. FABRE2 et L. GIRAL2

1  Laboratoire de Physicochimie des Matériaux Solides, U.R.A. D 0407, Place Eugène-Bataillon, F-34060 Montpellier Cedex 1, France
2  Laboratoire de Chimie Structurale Organique, Université des Sciences et Techniques du Languedoc, Place Eugène-Bataillon, F-34060 Montpellier Cedex 1, France

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