| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 50, Numéro C1, Janvier 1989
International Conference on the Physics of Multiply Charged Ions and International Workshop on E.C.R. Ion Sources
|
|
|---|---|---|
| Page(s) | C1-773 - C1-778 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989182 | |
J. Phys. Colloques 50 (1989) C1-773-C1-778
DOI: 10.1051/jphyscol:1989182
A 2.45 GHz ECR ION SOURCE FOR METALLIC IONS
M. DELAUNAY and R. GELLERCEA - CENG - DRF/PADSI, 85 X, F-38041 Grenoble Cedex, France
Résumé
Une source d'ions métalliques E.C.R. de dimensions réduites et de faible consommation électrique a été développée. La structure magnétique, en forme de cuspe, est réalisée uniquement avec des aimants permanents en SmCo5. Des plasmas d'yttrium et de titane ont été produits en utilisant l'argon ou le krypton comme gaz support. L'analyse spectroscopique des photons émis par le plasma a permis de détecter simultanément les atomes neutres et les ions pour augmenter les rendements d'ionisation.
Abstract
A compact ECR metal ion source has been developed with a very low power consumption. The magnetic structure (cusp geometry) is built exclusively with SmCo5 permanent magnets. Plasmas of yttrium and titanium have been produced with argon and krypton as support gas. Spectroscopic measurements of photons emitted by the plasma enable to detect both metallic ions and neutrals in order to increase ionization yield.