Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 48, Numéro C9, Décembre 1987
X-Ray and Inner-Shell Processes
Vol. 1
Page(s) C9-87 - C9-90
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:1987912
X-Ray and Inner-Shell Processes
Vol. 1

J. Phys. Colloques 48 (1987) C9-87-C9-90

DOI: 10.1051/jphyscol:1987912

THIN FILM COMPOSITIONAL ANALYSIS BY LOW-ENERGY ELECTRON-INDUCED X-RAY SPECTROMETRY (LEEIXS). NEW APPLICATIONS

M. ROMAND, M. CHARBONNIER and F. GAILLARD

Département de Chimie Appliquée et Génie Chimique (CNRS UA-417), Université Claude Bernard Lyon-I, F-69622 Villeurbanne Cedex, France


Résumé
Les possibilités de la spectrométrie d'émission x induite par excitation électronique de basse énergie (LEEIXS) en tant que technique d'analyse des films ultra-minces et des éléments légers sont mises en évidence. Les situations analytiques en LEEIXS et en microsonde électronique (EMP) sont comparées. Une discussion des concepts physiques est incluse en vue de fournir une base pour interpréter les résultats des études présentes et futures.


Abstract
Capabilities of low-energy electron-induced x-ray spectrometry for very thin film and light element analysis are illustrated. The analytical situations in LEEIXS and electron microprobe (EMP) are compared. A discussion of the physical concepts is included in order to provide a basis for interpretation of the results of present and futur investigations.