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J. Phys. Colloques
Volume 47, Numéro C7, Novembre 1986
33rd International Field Emission Symposium / 33ème Symposium International d'Emission de Champ
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| Page(s) | C7-381 - C7-387 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1986765 | |
33rd International Field Emission Symposium / 33ème Symposium International d'Emission de Champ
J. Phys. Colloques 47 (1986) C7-381-C7-387
DOI: 10.1051/jphyscol:1986765
1 Laboratoire de Microstructures et de Microélectronique, Groupement Scientifique CNET-CNRS, 196, Rue Henri Ravera, F-92220 Bagneux, France
2 Oregon Graduate Center, 19600 Von Neumann Dr, Beaverton, OR 97006, U.S.A.
J. Phys. Colloques 47 (1986) C7-381-C7-387
DOI: 10.1051/jphyscol:1986765
THE EFFECT OF CARBON BEARING GASES AND SECONDARY ELECTRON BOMBARDMENT ON A LIQUID METAL ION SOURCE
P. SUDRAUD1, J. ORLOFF2 et G. BENASSAYAG11 Laboratoire de Microstructures et de Microélectronique, Groupement Scientifique CNET-CNRS, 196, Rue Henri Ravera, F-92220 Bagneux, France
2 Oregon Graduate Center, 19600 Von Neumann Dr, Beaverton, OR 97006, U.S.A.
Résumé
Nous montrons que l'influence de l'atmosphère résiduelle sur le bruit et la durée de vie des sources d'ions à métal liquide (LMIS) est significative lorsque des électrons secondaires frappent la surface de l'émetteur. Nous proposons une méthode de suppression des électrons secondaires lors de la conception d'un canon LMIS.
Abstract
The influence of residual gases on the noise and life time of liquid metal ion sources (LMIS) has been found to be significant if secondary electrons impinge upon the emitter surface. A straight forward method of preventing electron bombardment of the LMIS in a ion gun structure is shown.