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J. Phys. Colloques
Volume 47, Numéro C2, Mars 1986
32 nd International Field Emission Symposium / 32ème Symposium International d'Emission de Champ
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| Page(s) | C2-473 - C2-477 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1986272 | |
32 nd International Field Emission Symposium / 32ème Symposium International d'Emission de Champ
J. Phys. Colloques 47 (1986) C2-473-C2-477
DOI: 10.1051/jphyscol:1986272
Laboratoire de Microscopie Ionique, UA CNRS 808, UER Sciences de Rouen, BP 67, F-76130 Mont-Saint-Aignan, France
J. Phys. Colloques 47 (1986) C2-473-C2-477
DOI: 10.1051/jphyscol:1986272
A NEW DETECTION SYSTEM FOR AN ATOM PROBE FIM
D. BLAVETTE, A. BOSTEL et J.M. SARRAULaboratoire de Microscopie Ionique, UA CNRS 808, UER Sciences de Rouen, BP 67, F-76130 Mont-Saint-Aignan, France
Résumé
Un nouveau système de détection permettant de discriminer les ions de même temps de vol dans une sonde atomique est décrit. Quelques résultats préliminaires sont donnés et montrent les performances de la multidétection spatiale.
Abstract
A new detection technique for an atom-probe FIM is described. With such a system, ions having the same time of flight can be discriminated. Some preliminary results are given and show the performances of the spatial multi-detection.