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J. Phys. Colloques
Volume 47, Numéro C2, Mars 1986
32 nd International Field Emission Symposium / 32ème Symposium International d'Emission de Champ
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| Page(s) | C2-359 - C2-363 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1986255 | |
J. Phys. Colloques 47 (1986) C2-359-C2-363
DOI: 10.1051/jphyscol:1986255
THE STUDY OF RUTHENIUM OXIDATION BY PULSED FIELD DESORPTION MASS SPECTROMETRY
G.K. CHUAH1, D.L. COCKE1, N. KRUSE2, G. ABEND3, T. KESSLER3 et J.H. BLOCK31 Department of Chemistry, Texas A&M University, College Station, Texas 77843, U.S.A.
2 Institut für Technische Chemie der T.U. Berlin, Strasse des 17. Juni 128, D-1000 Berlin 12, F.R.G.
3 Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-Gesellschaft, Faradayweg 4-6, D-1000 Berlin 33, F.R.G.
Résumé
Les intermédiaires de surface impliqués dans l'oxydation du Ru à 700 K ont été examinés par spectrométrie de passe de désorption de champ pulsée. Les résultats sont comparés avec ceux obtenus par SMIS, spectrométrie de masse de sonde atomique et spectrométrie de masse d'évaporation thermique. Des ions chargées simples et doubles de Ru, RuO, RuO2 et RuO3 aussi bien que Ru2O2+ et Ru2O3+3, sont observées. La présence d'une couche préoxydée sur la pointe de Ru s'est avérée être nécessaire avant le formation de RuO3 apparaisse. RuO3 était formé pour une température supérieure à 600 K à 10-3 PaO2. A 600 K , une haute mobilité des espèces d'oxyde a été observée.
Abstract
The surface intermediates involved in the oxidation of ruthenium at 700 K were examined by pulsed field desorption mass spectrometry (PFDMS). The results were compared with those from SIMS, atom probe and thermal vaporization mass spectrometry. Singly and doubly charged ions of Ru, RuO, RuO2, and RuO3 as well as Ru2O2+ were observed. The presence of a preoxidized layer on the ruthenium tip was found to be necessary before any RuO3 formation occurred. RuO3 was formed at temperatures above 600 K at 10-3Pa O2. At 600 K, the oxide species were observed to be highly mobile.